六氟化硫是一种无色、无嗅、无毒、不可燃的稳定气体。它的化学分子式是SF6。其分子量为146.07，在20℃和0.1 MPa下密度为6.1kg/m3，约为空气的5倍。六氟化硫在常温常压下为气态，其临界温度为45.6℃，三相点温度为-50.8℃，在常压下升华点温度为-63.8℃。它的分子结构为八面体，键距短，键能高，因此稳定性很高。当温度不超过180℃时，其与电气结构材料的相容性与氮气相似。
1.新一代超高压绝缘介质材料作为一种良好的气体绝缘材料，广泛用于电子电气设备的气体绝缘。电子高纯六氟化硫是一种理想的电子刻蚀剂，广泛应用于微电子技术领域，在计算机芯片、液晶显示屏等大型集成电路的制造中用作等离子体刻蚀和清洗剂。它在光纤制备中用作生产掺氟玻璃的氟源，在低损耗高质量单模光纤制造中用作隔离层的掺杂剂。也可用作氮准分子激光器的掺杂气体。在气象、环境检测等部门用作示踪剂、标准气体或标准混合物。用作高压开关中大容量变压器的灭弧绝缘材料。它也可以用于粒子加速器和避雷器。由于其良好的化学稳定性和对设备的不腐蚀性，可用作制冷行业的制冷剂(工作温度-45 ~ 0℃)。它也用于放射化学，因为它对α粒子有很高的阻挡能力。此外，它还被用作反吸附剂，以取代煤矿粉尘中的氧气。
2.它可用于有色金属的冶炼和铸造过程，以及铝及其合金熔体的脱气和净化。在微电子工业中，六氟化硫可用于刻蚀硅表面，去除半导体材料上的有机或无机薄膜，在光纤制造过程中可作为单膜光纤隔离层的掺杂剂。六氟化硫电流断续器额定电压高，不易烧毁。此外，六氟化硫还被用作各种加速器、超高压蓄电池、同轴电缆和微波传输的绝缘介质。目前，六氟化硫是测量空气污染广泛使用的示踪剂，示踪距离可达100公里。六氟化硫化学稳定性好，不腐蚀设备。在制冷行业可作为制冷剂(工作温度在-45℃至0℃之间)替代氟利昂。对臭氧层完全没有损害，符合环保和使用性能要求，是一种极具发展潜力的制冷剂。用作电绝缘介质和灭弧剂，以及测量空气污染程度的示踪剂。
3.主要用于高压开关中的灭弧，用作大容量变压器和高压电缆中的绝缘材料。可用作核粒子加速器X射线设备和避雷器的气体绝缘材料。SF6具有良好的化学稳定性，对设备无腐蚀，可用作制冷行业的制冷剂(工作温度在-45℃至0℃之间)。SF6对α粒子有很高的阻止能力，因此也被用于放射化学。它也可以作为一种反吸附剂来代替煤矿粉尘中的氧气。
